高纯气体纯度分析是一门专业学科。气体纯度分析实际上是检测气体中微量或者痕量的气体。气体纯度分析中采用扣除杂质的差减法进行计算。高纯气包括:高纯H2, O2, N2, CO, CO2 等永久性气体;高纯He, Ne, Ar, Kr, Xe等稀有气体;高纯Cl2,H2S, NH3, PH3, SiH4 等特种气体。通常气体纯度5个“9”(99.999%)以上,总杂质下于10×10-6V/V(10ppm)称为高纯气,6个“9”(99.9999%)以上称为超高纯气。随着我国经济的高速发展,石油化工生产,半导体工业,环境分析和科学研究等对高纯气不仅在数量上、质量上、种类上不断提出新的要求,气体纯度要求也越来越高。
气相色谱仪器被广泛地应用气体检测,常用的有几下几种检测器:热导池检测器TCD,其结构简单、性能稳定、线性范围宽,适合最低检测限大于100ppm 的气体;氢火焰离子检测器FID,其灵敏度高、响应快、线性宽、操作简单,对碳烃类化合物检测灵敏度高,对无机气体CO, CO2,通过镍触媒转化CH4,也能有很好的响应,但对其他无机气体无响应;火焰光度检测器FPD,其选择性检测器,只对含硫和磷有机化合物有很高的灵敏度,如H2S;电子捕获检测器ECD,其选择性检测器,只对具有电负性的物质有很高的灵敏度,如N2O;脉冲氦离子化检测器PDHID和介质阻挡放电氦等离子体检测器BID,其灵敏度高,性能稳定,其能放出高能光子能量(17.7eV),可以离子化除Ne和载气He外的全部化合物,为通用型检测器,是检测分析微量或者痕量气体的利器。
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